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第九五六章 研发极紫外光（第2页）

“汤普森院长预测光源研究所，能在多长的时间内研制成功极紫外光？”

孙健心中一喜，他不是不想投资研制极紫外光，而是担心投资太大，即使研制成功，没有配套的光学系统和相适应的光刻胶、掩膜版等，GCA也生产不出EUV光刻机！

前世，举国之力研制13。5nm的EUV光源也没有结果，在世界上只有ASML控股的Cymer才能生产EUV光源，可见难度之大！

在光刻机光源方面，光刻机光源后起之秀Cymer如今还不是GCA的对手。

Cymer前世能成为光刻机光源的霸主，除了被ASML收购后不断投入巨资研发外，也有ASML将收购的GCA光刻机光源研究所并入Cymer光刻机光源研究院，强强联合。

前世，极紫外光技术的研发成功，不知道汤普森院长在其中发挥的作用？

GCA光刻机半导体研究院的研究重心应该放在技术领先的ArF准分子激光器和KrF光刻胶研制上。

GCA与IBM同是Sematech会员，赢者通吃，避免重复研究，不担心IBM卡B子，IBM垄断KrF光刻胶十几年，但不知道什么原因？前世是信越化学等日本公司在光刻胶上一枝独秀，还卡了韩国人的脖子！

“孙董事长，只要能保障光源研究所的研发经费，我保证光源研究所三年内研制成功极紫外光。”

“汤普森院长，光源研究所需要多少研发经费？”

汤普森院长不是年轻人，敢打包票，就说明有绝对的把握，重生者不怕花钱！一旦攻克了EUV，能否生产EUV光刻机？GCA都会成为光刻机行业的领导者！

“董事长，我需要三千万元美元的研发经费，购买新的实验机器和材料。”

艾德里安和布罗迪等众人喜忧参半，公司如今的现金流只剩下三百多万美元，要花钱的地方多的是。

“汤普森院长，我现在就答应你，要是光源研究所在三年内研究成功极紫外光技术，我承诺奖励光刻机光源研究所研发团队五百万美元，其中一百万美元奖励汤普森院长。”

这个时代的三千万美元相当于二十年后的三十亿美元，可以收购40%ASML的股权，不是一笔小数目！

即使花了三千万美元，三年内没有研发成功，孙健相信GCA的光刻机光源技术和制程工艺也会突飞勐进。

众人一脸的惊讶。

“多谢董事长！”

汤普森也是一愣。

先入为主，重生者二手准备，当然希望汤普森院长率领GCA光刻机光源研究所，率先研制成功EUV，重新成为光刻机霸主后，GCA收购Cymer和AEMC，强强联合，就是收购SVG和Ultratech，成为美国唯一的光刻机公司，与Nikon和竞争，美国政府也会支持。

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